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硅/化合物衬底片制造

高纯三氯氢硅(TCS)

英文名称：Trichlorosilane
纯度等级：5N
包装规格：900L钢瓶、管束车
业务咨询
销售电话：0570-3687736 / 0570-3091321
邮箱：sales@grandit.com.cn
详细介绍
主要应用：硅/化合物衬底片制造的硅基原材料
高纯三氯氢硅是半导体产业链上游的核心材料，主要用于高纯多晶硅制备和外延生长工艺，其高纯特性直接影响芯片性能。本产品具有超高纯度等优点，可满足客户的多种包装的要求。
前一页：高纯氯化氢 (HCl)
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下一页：电子级氢氟酸（HF）

 

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